硅棒在拉晶生長的過程中， 硅液液面高度的穩定性對晶棒生長的質量有很大的影響。 由于硅液溫度在1 4 5 0° C 以上， 導致硅液液位無法測量， 從而導致拉晶過程無法精確控制。

        拉晶爐激光硅液液位儀也叫拉晶爐液位測量或拉晶爐液口距測量。激光硅液液位儀是一種高精度的測量設備，主要用于監測和測量單晶硅爐內硅液的液位。通過激光反射原理進行非接觸式測量，具有高精度和高分辨率，能夠準確反映液位的微小變化。激光硅液液位儀專用于半導體行業拉晶過程的測量，如：穩溫、引晶放肩、轉肩、等徑、收尾全階段的液位測量，液位儀把高度數據上傳給拉晶爐控制系統，控制系統對液位進行相應的調整，從而控制硅液液位的穩定性。

  應用成果：

>> 測量精度高：可達到0.3mm
>> 耐高溫：能夠測量高達1600℃的高溫液體，并保證測量結果的穩定性和準確性。有風冷或水冷保護
>> 易集成：可以與現有的拉晶爐設備兼容，調試方便。實現數據共享和遠程監控